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抽氣速率(L/s) 2
極限壓力（MPa） ≤2×10-2

抽氣速率(L/s) 1
極限壓力（MPa） ≤2×10-2

抽速 m3/h(L/S) 50(HZ) 2(0.5)60(HZ) 2.3(0.6)
極限壓力（Pa）  10Pa

抽氣速率(L/s) 4
極限壓力（Pa） 分壓力 ≤6×10-2

抽氣速率(L/s) 4
極限壓力（Pa） 分壓力 ≤6×10-2

抽氣速率(L/s) 30
極限壓力（Pa） 分壓力 ≤6×10-2

抽氣速率(L/s) 70
極限壓力（Pa） 分壓力 ≤6×10-2全壓力 ≤1

抽氣速率(L/s) 8
極限壓力（Pa） 分壓力 ≤6×10-2   全壓力 ≤1

抽氣速率(L/s) 15
極限壓力（Pa） 分壓力 ≤6×10-2

抽氣速率m3/h(L/S) 15
極限壓力(Pa) 分壓力 ≤4×10ˉ²全壓力 ≤1