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測量范圍（μm）：Ra、 Rq： 0.05 um ~ 15.0 um             Rz、 Rt： 0.1 um~ 50 um

測量參數(shù):  Ra、Rz=Ry(JIS)、Rq, Rt=Rmax, Rp, Rv, R3z, R3y, Rz(JIS), Rs,Rsk, Rku, Rsm, Rmr

掃描范圍（mm）：0～6000

測量范圍：0.75～300mm（探頭決定）
測量精度：±（0.5%H+0.04）mm H為被測物實際厚度

測量范圍：0-3500μm或0-140mil
顯示精度：0.1μm

測量范圍：0~1250um
顯示精度：1um

測量范圍：0~1250um
顯示精度：1um

測量范圍：0.75～300mm（探頭決定）
測量精度：±（0.5%H+0.04）mm H為被測物實際厚度

控溫范圍：室溫+5°C - 100°C
最大功率：200W

控溫范圍：室溫+5°C - 100°C
最大功率：150W