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功率（w） 0.18
流量（L/min） 60

抽氣速率： 單管抽氣速率：10L/min 
極限真空度： 0.098Mpa

極限真空度： 0.098Mpa 
抽氣速率： 單頭抽氣量：10L/min

抽氣速率(L/s) 8
極限壓力（MPa） ≤2×10-2

抽氣速率(L/s) 2
極限壓力（MPa） ≤2×10-2

抽氣速率(L/s) 1
極限壓力（MPa） ≤2×10-2

抽氣速率(L/s) 4
極限壓力（MPa） ≤2×10-2

抽速 m3/h(L/S) 50(HZ) 2(0.5)60(HZ) 2.3(0.6)
極限壓力（Pa）  10Pa

抽氣速率(L/s) 4
極限壓力（Pa） 分壓力 ≤6×10-2

抽氣速率(L/s) 4
極限壓力（Pa） 分壓力 ≤6×10-2